蓝宝石选择性激光刻蚀技术的研究进展 ，宋学辉，曲正坤，蓝宝石是红外光学、衬底材料、高温高压环境光学元件的重要材料，在军事和民用领域都有广泛应用。然而，因蓝宝石的高硬度和高化学
2023-12-01 22:30:23
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湿法刻蚀工艺和干法刻蚀工艺的比较？
干法刻蚀优缺点：
分辨率高
各向异性腐蚀能力强
均匀性、重复性好
便于连续自动操作
成本高，选择比一般较低
湿法刻蚀的优缺点：
成本低廉
选择比高
各向同性
腐蚀速率难以控制
2022-08-16 19:29:05
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（2）复杂的几何刻蚀例子：
下面的例子刻蚀掉了以(0.8,0)(0.8,-0.15)(1.2,-0.15)(1.2,0)为坐标顶点的矩形氧化物区域.
ETCH OXIDE START X=0.8 Y=0.0
ETCH CONTINUE X=0.8 Y=-0.15
ETCH CONTINUE X=1.2 Y=-0.15
ETCH DONE X=1.2 Y=0.0
刻蚀前
刻蚀后
2022-01-18 10:50:48
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8.10.1、图形的保真度
经过腐蚀之后图形，通常呈现为三种情况，
设纵向腐蚀速率为Vv、侧向腐蚀速率为Vl。
图(a)，Vl =0，腐蚀只沿纵向进行，为各向异性腐蚀。
图(b)和(c)，在纵向腐蚀的同时，侧向也进行了腐蚀。若Vv = Vl ，为各向同性腐蚀。
2021-12-27 21:31:38
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